中频磁控溅射论文

汽轮机末级叶片抗水蚀氮化碳/氮化钛复合涂层制备及其相关基础研究
论文摘要采用中频磁控溅射和多弧辅助中频磁控溅射技术在硅片、不锈钢、高速钢以及硬质合金等基体材料上制备C3N4涂层和C3N4／TiN纳米复合涂层，系统研究了C3N4涂层和C3N4...