射频反应磁控溅射论文

ZrN_x快离子导体薄膜的制备及其Cr掺杂性能研究
论文摘要全固态电致变色器件的实用化研究一直是该领域的研究热点。电致变色器件全固态化的关键是采用合适的快离子导体（有时亦称固体电解质）作为器件的离子传导层。目前,用于电致变色器件...
光记录材料与铁电材料的制备与性能研究
论文摘要人工薄膜的出现是20世纪材料科学发展的重要标志。自70年代以来薄膜材料、薄膜科学、与薄膜技术一直是高新技术研究中最活跃的研究领域之一，并已取得了突飞猛进的发展。在光记录...
射频反应磁控溅射制备氮化铜（Cu3N）薄膜及其性能研究
论文摘要人工薄膜的出现是20世纪材料科学发展的重要标志。自70年代以来薄膜材料、薄膜科学、与薄膜技术一直是高新技术研究中最活跃的研究领域之一,并已取得了突飞猛进的发展。氮化铜（...
TaO_X快离子导体薄膜的制备与掺杂性能研究
论文题目:TaO_X快离子导体薄膜的制备与掺杂性能研究论文类型:硕士论文论文专业:材料学作者:吕佳导师:黄佳木关键词:离子导体,射频反应磁控溅射,氧化钽,锆掺杂,非晶态薄膜文献...