脉冲磁控溅射论文

ITO薄膜的制备及其性能研究
论文摘要氧化铟锡（Tin-dopeindiumoxide,ITO）薄膜做为一种新型材料被应用于诸多领域,其优异的特性引起了各国专家的广泛关注和研究。ITO薄膜具有很多优异的特性...
磁控溅射高频脉冲（A~2K）电源的研制
论文摘要根据调研和文献,对不同的溅射技术进行了比较,针对脉冲磁控溅射（PulseMegnetronSputtering（PMS））的特点及受限于电源技术的瓶颈,提出了A2K（A...
直流脉冲磁控溅射法制备SiN_x/SiN_xO_y薄膜及其性能研究
论文摘要柔性OLED被认为是最具发展前景的下一代显示技术之一,但由于H2O、O2等有害气体的侵蚀,使柔性OLED器件很难达到商用显示器件1×104h的最低使用寿命标准,在柔性衬...