直流对靶磁控溅射论文

论文摘要本文利用直流对靶磁控溅射的方法在氮化硅、导电玻璃、玻璃以及多孔硅四种衬底上制备金属钒薄膜,然后对其退火氧化得到具有较高电阻温度系数的氧化钒薄膜,这是一种本课题组以前未曾...