微光机电系统论文

光栅平动式光调制器机电特性与测试系统研究
论文摘要显示器件正向多元化方向发展,随着MEMS技术的成熟,基于MEMS技术面向高清显示的光调制器成为世界各国研发的热点,并以其优异的性能成为带动下一代显示产业发展的一个重要分...
基于MOEMS技术的光学调制器研究
论文摘要MEMS和光学的结合（MOEMS）给传统光学器件的设计和制造带来了全新的思路,它具有性能灵活、低成本、尺寸小和易于批量生产等优点。本课题对基于MOEMS技术的光学调制器...