• 数字光刻制作微光学器件的评价研究

    数字光刻制作微光学器件的评价研究

    论文摘要微光学是一门正在兴起的学科领域,它是研究一维、二维和三维的小型化光学器件和系统的一门高技术。它与微电子学、微机械、微加工、信息科学、材料科学等学科相互渗透,为现代光学研...
  • 非矩形光栅结构中衍射模拟算法研究及应用

    非矩形光栅结构中衍射模拟算法研究及应用

    论文摘要微光学是研究尺寸在微米级(几微米到几百微米)的光学功能器件(微透镜、微棱镜、微反射镜)、光学表面微结构(二元光学、衍射光学)以及其阵列的光学特性及成像方法的学科。微光学...
  • 微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术

    微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术

    论文题目:微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术论文类型:博士论文论文专业:物理电子学作者:柯才军导师:易新建关键词:微光学,微透镜阵列,微光电机系统,衍射效率,点扩散函数...