微光学元件论文

论文摘要随着近代光学尤其是二元光学的迅速发展，光学元件及光学仪器都发生了非常深刻而巨大的变化。光学元件开始向多台阶方向发展。近年来研制的新型光学元件—衍射光学元件也越来越广泛地...

论文摘要随着光电子技术的迅速发展，以及光、机、电一体化的发展趋势，对光学系统及其元器件提出了微型化、阵列化与集成化的应用要求。微光学元件具有体积小、重量轻、造价低以及可以实现普...

论文摘要飞秒激光双光子聚合技术是一种简单、高精度、真三维的微纳加工技术,可以用来制备各种复杂的三维微纳结构和功能性器件。利用该技术加工首先为加工目标建立数据模型,它代表着目标物...

论文摘要工艺简单、用途广泛、能批量加工复杂三维微/纳结构的加工技术一直是微/纳加工领域的研究热点。近来,利用电化学手段进行三维微/纳米尺度的刻蚀加工己成为该领域中一个发展迅速的...

论文摘要近年来,以微光学、微机械、微电子器件为核心的微系统发展迅速,具有广阔的应用领域,将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量产生深远影响。1995年的美国财政计划已将...