激光抛光论文

飞秒激光抛光碳化硅陶瓷材料的工艺过程研究
论文摘要碳化硅是继硅、锗、砷之后发展起来的第三代半导体材料。其具有比刚度高、热稳定性好等优点,已经成为制作高精度空间反射镜的首选材料,在空间光学和电子学领域以及微结构模具加工方...