自清洁薄膜论文

新型功能光学薄膜的磁控溅工艺及物性研究
论文摘要光学功能薄膜涉及到光电产业、国防、环境科学等众多领域,具有很强的应用背景。本文利用磁控溅射技术制备了几种新型光学功能薄膜,主要包括:SiOx薄膜、YSZ耐高温光学薄膜、...