论文摘要
光学功能薄膜涉及到光电产业、国防、环境科学等众多领域,具有很强的应用背景。本文利用磁控溅射技术制备了几种新型光学功能薄膜,主要包括:SiOx薄膜、YSZ耐高温光学薄膜、TiO2光催化和自清洁功能薄膜。通过对材料的筛选,对薄膜材料微结构及性能的调控,以及对制备工艺的研究与优化,取得了一些具有实用价值的研究成果。文中还对影响光学薄膜性能的内在因素和作用机理进行了分析和讨论。本论文的具体研究内容和主要结果如下:1.利用反应磁控溅射技术制备了不同氧化程度的SiOx薄膜,研究了不同温度下退火对其光学参数的影响。讨论了SiOx材料体系在不同温度下退火后,薄膜的微结构与组成的演变过程,具体包括相分离引起的成分变化,退火对样品应力的释放和对缺陷的修复作用,以及不同氧化程度薄膜折射率的变化机理等。2.针对光学薄膜在高温下的应用,研究了Nb2O5、Ta2O5等传统光学薄膜材料在高温下微结构及光学参数的劣化;提出了钇稳定氧化锆(YSZ)材料在耐高温光学薄膜领域的应用。从光学参数和微结构的稳定性等方面讨论了YSZ薄膜材料的耐温性能及机理。所获得的YSZ/SiO2多层膜光学器件在800℃下光学性能无明显退化。该结果拓展了光学薄膜在高温条件下的应用前景。3.发现了ZnO前驱层对TiO2薄膜的结晶增强的效应,并研究了该增强效应的机理。提出了利用ZnO前驱层来调控TiO2薄膜的结晶度和表面粗糙度的方法,研究了TiO2/ZnO薄膜的光催化和自清洁性能及影响因素。利用磁控溅射技术获得的TiO2/ZnO双层结构薄膜表现出比单层TiO2薄膜更加优越的光催化活性和亲水性。这一结果具有很好的工业应用前景。
论文目录
相关论文文献
- [1].圆形薄膜预应力测量[J]. 工程塑料应用 2020(03)
- [2].低光泽度热隐身光子晶体薄膜[J]. 真空科学与技术学报 2019(11)
- [3].铁酸铋薄膜的电学特性及掺杂影响分析[J]. 化工新型材料 2017(03)
- [4].有限尺寸硬薄膜/软基底的屈曲分析[J]. 力学季刊 2017(02)
- [5].国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J]. 真空 2015(06)
- [6].国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J]. 真空 2016(01)
- [7].国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J]. 真空 2016(02)
- [8].国际薄膜大会Thin Films 2016[J]. 真空 2016(03)
- [9].可怜的小鸭子[J]. 意林(少年版) 2013(11)
- [10].大棚薄膜破损咋修补[J]. 农业知识 2009(29)
- [11].基于电化学聚合方法制备荧光薄膜及其在爆炸物检测中的研究[J]. 化学与粘合 2020(01)
- [12].欧洲开发抗菌薄膜[J]. 绿色包装 2020(07)
- [13].谈一谈薄膜数字印刷的优势和成本考量[J]. 印刷技术 2019(03)
- [14].薄膜传输系统导向辊牵引特性研究[J]. 西安理工大学学报 2016(04)
- [15].铁酸铋薄膜退火工艺研究进展[J]. 表面技术 2017(02)
- [16].电沉积制备镍-铁薄膜及其性能的研究[J]. 电镀与环保 2017(04)
- [17].原子层沉积二硫化钼薄膜的机理及生长薄膜的质量[J]. 东南大学学报(自然科学版) 2017(05)
- [18].2014年全球特种薄膜销售额将达到297.7亿美元[J]. 印刷技术 2010(02)
- [19].中国进口薄膜级HDPE供应将趋紧[J]. 塑料工业 2010(07)
- [20].一种Sb_2S_3热电薄膜的制备方法[J]. 电镀与精饰 2009(07)
- [21].管状弹簧介电薄膜作动器粘弹性变形研究[J]. 甘肃科学学报 2019(06)
- [22].薄膜基荧光传感检测的研究进展[J]. 中国科学:化学 2020(01)
- [23].烧结氛围对铜锌锡硫硒薄膜性质的影响[J]. 内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版) 2020(03)
- [24].少层二硫化钼薄膜的制备及其光谱特性[J]. 半导体技术 2020(09)
- [25].薄膜生产中防止薄膜粘连应用研究[J]. 中国设备工程 2020(18)
- [26].“长寿薄膜”问世 寿命高达25年[J]. 橡塑技术与装备 2017(04)
- [27].基于动力学标度法的a-C:H薄膜表面微观形貌的演变机理研究[J]. 原子能科学技术 2017(04)
- [28].欧盟创新型中小企业研制成功过滤薄膜自清洁技术[J]. 化工管理 2014(34)
- [29].欧盟创新型中小企业研制成功过滤薄膜自清洁技术[J]. 分析测试学报 2014(12)
- [30].欧盟创新型中小企业研制成功过滤薄膜自清洁技术[J]. 企业技术开发 2014(34)