器件级真空封装论文

微机械陀螺仪的封装研究
论文摘要微机械陀螺仪的封装问题是关系其实用化的主要因素之一。通过调研及分析国内外微机械陀螺及其封装的发展现状,本论文对北京大学设计的Z轴微机械音叉陀螺进行器件级真空封装研究以及...