• 高速高精度模数转换器芯片数字后端设计

    高速高精度模数转换器芯片数字后端设计

    论文摘要伴随着无线通信、医疗仪器以及航空电子等学科的快速发展,信号处理前端的核心部件模数转换器(Analog-to-DigitalConverter,ADC)无论在精度还是在速...
  • 超高加速度精密运动平台研制

    超高加速度精密运动平台研制

    论文摘要芯片以极快的速度向着尺寸小,管脚多,数量大的方向发展,引线键合机是芯片加工流水线中的封装设备,为配合芯片的发展,下一代封装设备应大幅提高生产效率、改善产品质量和降低制造...
  • 宏/微定位平台控制系统设计

    宏/微定位平台控制系统设计

    论文摘要本文密切结合中国博士后基金项目——金凸点剪切断丝高速共面的非线性控制方法研究,以哈尔滨工业大学机器人研究所开发的高速度高精度宏/微定位平台为研究对象,利用系统辨识、现代...
  • 光栅尺高速高精度跨尺度位移测量方法的研究

    光栅尺高速高精度跨尺度位移测量方法的研究

    论文摘要随着集成电路(IC)封装工艺、超精密加工、精密仪器及生物医学工程等众多领域的不断发展,与之相关的设备对运动速度、定位精度的要求越来越高,因此高速高精度定位技术在现代科学...
  • 2-DOF高速高精度平面并联机器人研究

    2-DOF高速高精度平面并联机器人研究

    论文摘要随着机器人应用领域不断拓展,对其行程、速度、加速度和精度提出了更高的要求。然而,机器人因受其构件的惯性及弹性变形、各关节的摩擦力以及传动间隙的影响,其精度和响应频率是有...
  • 直线电机系统分析与H_∞鲁棒控制

    直线电机系统分析与H_∞鲁棒控制

    论文摘要相对于传统旋转电机系统,直线电机驱动系统可以提供更高的速度和加速度能力,因此在半导体设备邦定机中应用已经很广泛。但是,在高加速度状态下工作的直线电机系统受到各种系统不确...