高能脉冲磁控溅射论文

胶体刻蚀工艺制备纳米图案及图案功能的初步研究
论文摘要为了获得一种简易廉价纳米图案加工手段,本文以胶体刻蚀工艺(ColloidalLithography)和磁控溅射技术结合的方式,分别在Si及Ti02表面制备质量良好的纳米...