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半导体激光器改善峰值激射波长的研究
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MEMS器件设计、封装工艺及应用研究
论文题目:MEMS器件设计、封装工艺及应用研究论文类型:博士论文论文专业:物理电子学作者:关荣锋导师:黄德修,刘胜关键词:设计,封装工艺,压力传感器,硅微陀螺仪文献来源:华中科...