• 磁控溅射与PECVD方法制备SiGe-SiO2薄膜

    磁控溅射与PECVD方法制备SiGe-SiO2薄膜

    论文摘要近年来,随着太阳能技术的蓬勃发展,人们在日常生活中太阳能电池应用的领域越来越广泛,而且目前应用最多的就是硅电池。而如何增加太阳能电池板的光透过率,增加光电转换效率成为目...
  • PECVD法制备非晶硅薄膜及光电性质研究

    PECVD法制备非晶硅薄膜及光电性质研究

    论文摘要非晶硅薄膜是一种应用广泛的薄膜材料,特别是在太阳能转化和应用产业领域内,由于其衬底易获取,制造工艺简单,生产成本较低,且易于实现薄膜大面积沉积等诸多优点而受到人们的极大...
  • PIN单结非晶硅薄膜太阳能电池的制备及研究

    PIN单结非晶硅薄膜太阳能电池的制备及研究

    论文摘要能源危机、环境污染与温室效应是人类正面临的重大挑战,开发新能源和可再生清洁能源成为21世纪最具决定影响的技术领域之一。太阳能是一种取之不尽、用之不竭的可再生清洁能源,作...
  • 非晶硅薄膜光学性质的研究及铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜

    非晶硅薄膜光学性质的研究及铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜

    论文摘要太阳能电池在缓解能源危机和解决环境污染方面有重要的研究和应用价值。在各类太阳电池中薄膜太阳电池以低成本和较高转换效率的特点成为当前的研究和开发热点,特别是多晶硅薄膜太阳...
  • 等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的研究

    等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的研究

    论文摘要类金刚石(DLC)薄膜具有优异的物理、化学性能,如高硬度、低摩擦系数、优良的耐磨性、在红外波段的透过性、化学惰性和生物相容性等,使它们在诸如真空微电子学、摩擦学、光电子...
  • 等离子体增强化学气相沉积法制备类金刚石膜及其纳米力学性能研究

    等离子体增强化学气相沉积法制备类金刚石膜及其纳米力学性能研究

    论文摘要在过去的二十年间,类金刚石(DLC)膜引起了工业和研究领域的浓厚兴趣。制备DLC膜的方法主要分为物理气相沉积法和化学气相沉积法。其中等离子体增强化学气相沉积法是近年世界...
  • 面向光集成的光波导材料制备与参数测量方法研究

    面向光集成的光波导材料制备与参数测量方法研究

    论文摘要集成光波导器件作为光通信中最重要的基础性部件之一,随着光通信技术的飞速发展,受到人们越来越多的重视,而集成光波导材料是器件的基础,其光学性能很大程度上决定了器件性能。新...
  • 硅基二氧化硅型阵列波导光栅的研制

    硅基二氧化硅型阵列波导光栅的研制

    论文题目:硅基二氧化硅型阵列波导光栅的研制论文类型:博士论文论文专业:物理电子学作者:周立兵导师:罗风光关键词:阵列波导光栅,硅基二氧化硅,复用,解复用器,光束传输方法,波导应...