论文摘要
非晶硅薄膜是一种应用广泛的薄膜材料,特别是在太阳能转化和应用产业领域内,由于其衬底易获取,制造工艺简单,生产成本较低,且易于实现薄膜大面积沉积等诸多优点而受到人们的极大关注,也使得目前非晶硅薄膜材料的研究成为了热点之一。本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,以硅烷和氢气作为反应气体,在普通玻璃载玻片上沉积出非晶硅薄膜。首先,通过正交实验的方法对制备工艺进行筛选,利用显微激光拉曼光谱仪(Raman)、X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等设备对制备出的非晶硅薄膜进行测试分析,筛选出制备非晶硅薄膜的工艺参数。其次,以筛选出的工艺为基础再进行单因素实验,分别研究不同衬底温度、硅烷流量、射频功率和两极板间距离这四个因素对非晶硅薄膜成膜质量的影响,获得制备高质量非晶硅薄膜的优化工艺参数:衬底温度300℃,硅烷气体流量60SCCM,射频功率150W,两极板间距离25.0mm。最后,利用薄膜分析测试仪(NKD)和直流四探针分析测试仪对制备出的非晶硅薄膜的光电性质进行分析研究,研究不同因素对非晶硅薄膜光电性质的影响,获得应用于非晶硅太阳能电池的优化工艺参数:衬底温度300℃,硅烷气体流量50SCCM,射频功率75W,两极板间距离25.0mm。
论文目录
相关论文文献
- [1].氟掺杂对非晶硅薄膜特性的影响[J]. 电子与封装 2020(03)
- [2].非晶硅薄膜电池与玻璃复合后力电性能试验研究[J]. 浙江建筑 2016(12)
- [3].非晶硅薄膜电池组件的接地设计探讨[J]. 电力勘测设计 2015(S1)
- [4].非晶硅薄膜电池组件的接地设计探讨[J]. 电气应用 2015(02)
- [5].低应力非晶硅薄膜的制备[J]. 电子测试 2017(10)
- [6].非晶硅薄膜电池组件的接地设计[J]. 电力与能源 2013(04)
- [7].非晶硅薄膜电池三年后或平价上网[J]. 硅谷 2011(01)
- [8].我国第五代大面积非晶硅薄膜电池率先实现量产[J]. 功能材料信息 2009(03)
- [9].非晶硅薄膜组件(9串9并)连接研究与应用[J]. 低碳世界 2017(34)
- [10].替代型非晶硅薄膜标准太阳电池的研制[J]. 太阳能 2016(09)
- [11].氢化非晶硅薄膜的制备与工艺参数优化[J]. 微电子学 2016(05)
- [12].非晶硅薄膜电池充电器的制作[J]. 安阳工学院学报 2014(02)
- [13].200MW非晶硅薄膜太阳能电池板[J]. 中国粉体工业 2009(06)
- [14].非晶硅薄膜电池应用及前景分析[J]. 光源与照明 2010(01)
- [15].射频功率和沉积气压对非晶硅薄膜材料性能的影响[J]. 内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版) 2015(03)
- [16].非晶硅薄膜技术跃登为中国再生能源主流[J]. 化工科技市场 2010(02)
- [17].银纳米颗粒表面覆盖度对非晶硅薄膜光吸收特性的影响[J]. 人工晶体学报 2015(05)
- [18].中频磁控溅射制备非晶硅薄膜的工艺研究及表征[J]. 太阳能学报 2012(02)
- [19].射频磁控溅射法制备硼轻掺杂氢化非晶硅薄膜的研究[J]. 电子器件 2012(06)
- [20].掺硼非晶硅薄膜的电阻不稳定性研究[J]. 半导体光电 2008(05)
- [21].对非晶硅薄膜进行快速磷扩散以获得本征薄层异质结[J]. 材料导报 2019(20)
- [22].磷掺杂对非晶硅薄膜结构及光电性能的影响[J]. 硅酸盐学报 2011(04)
- [23].铝膜沉积温度对非晶硅薄膜晶化的影响[J]. 上海师范大学学报(自然科学版) 2011(03)
- [24].70兆瓦非晶硅薄膜电池项目在济宁开建[J]. 功能材料信息 2010(Z1)
- [25].固体纳秒激光器应用于非晶硅薄膜结晶的研究[J]. 激光与红外 2017(09)
- [26].非晶硅薄膜的红外热敏特性[J]. 半导体学报 2008(11)
- [27].非晶硅薄膜光伏组件力电性能研究[J]. 绿色建筑 2015(02)
- [28].用模拟退火算法研究非晶硅薄膜的光学性质[J]. 光学技术 2009(04)
- [29].氢化非晶硅薄膜H含量控制研究进展[J]. 微纳电子技术 2009(11)
- [30].基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化[J]. 红外技术 2012(06)
标签:等离子体增强化学气相沉积论文; 非晶硅论文; 透射率论文; 沉积速率论文; 消光系数论文;