• 以环境为目的电气放电脉冲电源研究

    以环境为目的电气放电脉冲电源研究

    论文摘要近年来,随着环境污染的日益严重,传统的环境治理方法已经难以满足目前形势的要求,脉冲功率作为一种新技术,已经成为环境治理方法的重要研究目标之一。高功率脉冲电源是产生高功率...
  • 实用化ns级高压脉冲电源的研制

    实用化ns级高压脉冲电源的研制

    论文摘要利用等离子体脱硫及其处理污水时,要满足窄脉宽与高电压为两个重要条件。据此,本课题设计了一台新型实用化ns级高压脉冲电源,该电源可以广泛应用于对各种气体、液体、固体介质的...
  • 应用于极紫外光刻光源的脉冲电源研究

    应用于极紫外光刻光源的脉冲电源研究

    论文摘要极紫外光刻技术被认为是下一代最有前途的光刻技术之一。在其关键的EUV光源方面,DPPEUV光源由于其多方面的优点受到国际上的广泛关注。高功率脉冲电源是DPPEUV光源的...