自动组合装置论文

自动组合装置的赋时有色佩特里网模型的建立，仿真与分析
论文摘要近年来半导体制造业在全球范围发展迅速。但是半导体极其复杂的制造过程导致了较高的行业壁垒和制造成本。制造过程中需要牵涉到上百道工序和许多关键核心设备,其中就包括了自动组合...