• ZnO薄膜的MOCVD制备及ZnO/Si发光器件研究

    ZnO薄膜的MOCVD制备及ZnO/Si发光器件研究

    论文摘要鉴于当前所制备ZnO材料的质量还达不到器件级水平,尤其是p型掺杂问题没有得到很好地解决,以及制作得到的ZnO基发光器件效率过低等问题,本论文围绕MOCVD技术制备ZnO...