延性域磨削论文

铬刚玉砂轮磨削氮化硅陶瓷试验研究
论文摘要随着工程陶瓷材料的广泛应用和超精密加工研究的不断深入,目前已经能够利用普通砂轮在普通磨床上实现工程陶瓷材料的高效低成本超精密磨削加工。本文针对工程陶瓷材料的这一特殊加工...
硅片延性域磨削机理研究
论文摘要单晶硅片是制造集成电路时必须采用的衬底材料，在硅片上经过氧化、扩散、沉积、光刻、蚀刻、CMP、多层布线等一系列制程生长出数以亿计的电路器件，然后经过测试、晶片切割／贴片...
高纯度氧化铝陶瓷凹球面精密磨削研究
论文题目:高纯度氧化铝陶瓷凹球面精密磨削研究论文类型:硕士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:张方阳导师:林彬关键词:高纯度氧化铝陶瓷,延性域磨削,球面磨削仿真,误差分析,磨...