亚固结论文

亚固结磨料线锯切割过程磨粒运动状态实验研究
论文摘要硅片切割作为硅片加工工艺流程的关键工序,其加工效率和加工质量直接关系到整个硅片生产的全局。目前,硅片切割领域占主导地位的是线锯切割,根据磨粒与锯丝的结合情况,线锯分为游...