• 新型压电泵的结构设计及动态系统建模

    新型压电泵的结构设计及动态系统建模

    论文摘要压电泵因其特殊的性能和广阔的应用前景日益受到各国学者的广泛重视。本文详细讨论了目前出现的各种类型的压电泵及其结构和工作原理,分析了压电泵的具体应用领域。本文利用压电叠堆...
  • 液流悬浮超光滑加工机理及抛光动压力的研究

    液流悬浮超光滑加工机理及抛光动压力的研究

    论文摘要光学零件的表面质量是决定光学系统性能优劣的关键因素,在各个领域都有广泛的应用。液流悬浮超光滑表面加工技术作为一种新型的加工技术,是对光学材料表面传统抛光技术的革新,具有...
  • 压电步进二维精密驱动器理论及实验研究

    压电步进二维精密驱动器理论及实验研究

    论文摘要压电步进精密驱动器是以压电器件为驱动元件,利用步进驱动原理实现微米甚至亚纳米级运动的驱动器。本文以实现压电步进二维精密驱动为目标,开展了相应的基础理论、结构设计、实验测...
  • 尺蠖型压电驱动器基础理论与试验研究

    尺蠖型压电驱动器基础理论与试验研究

    论文摘要本文提出了以压电叠堆为动力转换元件,基于尺蠖运动机理实现超精密定位的新型驱动器方案。系统分析了压电叠堆与机械柔性机构的作用机理和直角柔性铰链的空间力学模型,为驱动器优化...