修正档板论文

修正板改善薄膜厚度均匀性的研究
论文摘要经过一百多年的发展,薄膜光学已经成为近代光学的重要分支。光学薄膜技术在理论、设计、计算和工艺方面已形成了完整的体系,一些新型微观结构的功能薄膜被不断开发出来,这些功能薄...