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新型栅式位移传感器论文

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    基于MEMS技术的三相栅式位移传感器关键技术的研究

    论文摘要栅式位移传感器在位移测量中具有广泛的应用,时栅是课题组发明的一种新型栅式位移传感器。经过多年的研究,在圆时栅方面的研究中已取得很大突破。时栅位移传感器具有结构简单、制造...
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