![微机械陀螺仪的封装研究]()
论文摘要微机械陀螺仪的封装问题是关系其实用化的主要因素之一。通过调研及分析国内外微机械陀螺及其封装的发展现状,本论文对北京大学设计的Z轴微机械音叉陀螺进行器件级真空封装研究以及...
![硅微陀螺读出电路低噪声设计]()
论文摘要微电子机械系统在过去二十年中发展迅速,微机械陀螺随着微电子机械系统技术的发展也在不断进步。微机械陀螺尺寸很小,通常在微米量级,输出信号小。而微机械陀螺检测电容变化量则非...
![水下超高速航行体微惯性测量组合设计及其相关技术研究]()
论文摘要以超空化减阻技术运动的航行体在速度、灵活性等方面都有了全新的改善,改变了传统水下航行体普遍存在速度慢、航程短、精度低的缺点,开辟了水下超高速航行体更为广阔的发展空间,在...
![基于新型梳状栅电容结构的微机械惯性传感器研究]()
论文摘要本论文在对传统栅电容结构的惯性传感器进行研究的基础上,提出了一种新型的梳状栅电容结构,并对基于此结构的加速度计和陀螺进行了研究。具体工作包括:加速度计和陀螺器件的结构设...
![微机械（MEMS）陀螺外围信号数字处理系统研究]()
论文摘要随着微机械（MEMS）技术研究的不断深入和MEMS性能的不断提高,微机械陀螺在工业中、生活中得到越来越广泛的应用,在航空航天和军事领域中也有非常广泛的应用前景。国际上对...
![全对称双级解耦微机械振动式陀螺研究]()
论文摘要本文在建立全对称双级解耦微机械振动式陀螺理论模型的基础上,系统研究了器件的动力学特性。提出一种新颖的全对称双级解耦微机械振动式陀螺仪结构,利用体硅微机械加工技术实现了敏...
![电磁式微机械陀螺检测电路设计]()
论文摘要微机械陀螺是硅加工工艺与机械制造相结合的产物,作为惯导系统组成部分,微机械陀螺在军事和民用中得到广泛应用。精确测量是微机械陀螺研究的目标,检测电路的性能优劣直接影响整体...
![精密海陆光电跟踪控制系统研究]()
论文摘要光电稳定伺服控制系统是跟踪、侦察、定位、导航等应用领域的关键组成部分,为保证载体晃动条件下跟踪设备的空间相对稳定和视轴精确指向跟踪目标,本文针对陀螺稳定伺服控制系统,对...
![微惯性测量系统关键技术研究]()
论文摘要本文结合航弹实际课题的要求,主要研究了微机械陀螺数学模型、测试、漂移建模、信号去噪及捷联姿态矩阵更新算法、动基座传递对准等关键技术,并在某工程应用上进行了新的探索。1....
![一种压阻式微机械陀螺的研究]()
论文题目:一种压阻式微机械陀螺的研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:陈雪萌导师:李昕欣关键词:微机械陀螺,压阻,温度补偿文献来源:中国科学院研究生院（上海...
![高信噪比电容式微机械陀螺的研究]()
论文题目:高信噪比电容式微机械陀螺的研究论文类型:博士论文论文专业:测试计量技术及仪器作者:李锦明导师:张文栋关键词:微机械陀螺,相位敏感解调,闭环驱动,性能测试文献来源:中北...
