• 带有力反馈系统的微加工头的研制

    带有力反馈系统的微加工头的研制

    论文摘要随着微纳米科学技术的迅猛发展,微纳米材料和人们的生活与工作愈加息息相关。原子力显微镜(AFM)的引入极大了丰富了微纳加工的内容,其主要特点就是其加工头的有限刚度,并通过...
  • 基于定向碳纳米管阵列场效应晶体管的一氧化氮检测

    基于定向碳纳米管阵列场效应晶体管的一氧化氮检测

    论文摘要本论文以水平定向单壁碳纳米管阵列场效应晶体管作为气体传感器器件,成功实现了对一氧化氮气体分子的高灵敏度,快速检测。以氯化铜(或氯化铁)为催化剂前躯体,甲烷为碳源,利用化...
  • GMR传感器的微加工制作

    GMR传感器的微加工制作

    论文摘要现代科学技术的发展和人类生活生产水平的提高离不开各种传感器技术的研究应用,几乎每一种新的物理现象都能为种类繁多的传感器家族增添新的成员。磁电阻式传感器在传感应用领域占有...
  • 三分量加速度地震检波器简谐振子的研究

    三分量加速度地震检波器简谐振子的研究

    论文摘要在油田开发阶段,运用更精细的地震方法配合增产措施可以找到更多的可采储量,三分量地震勘探技术应运而生,当下正在成为石油勘探地震的主要技术。作为地震检波器的敏感元件,简谐振...
  • 硅橡胶气动微阀的制作及其混合功能的研究

    硅橡胶气动微阀的制作及其混合功能的研究

    论文摘要微流控芯片系统操作的核心是对微流体的控制,微阀在微通道中起控制性限流的作用,离开微阀将无法完成对微流体的有效控制,因此对微阀的研究具有重要意义。微系统中流体雷诺数低限制...
  • PDMS微通道内微流动行为的Micro-PIV分析

    PDMS微通道内微流动行为的Micro-PIV分析

    论文摘要微流动技术是一种涉及微米尺度空间中流体过程处理及装置加工制造的技术。它是在微米尺度结构下利用微型化的流体处理和检测系统来研究微流体的各种效应和行为。由于其具有高通量的微...
  • 激光照排技术光栅光阀设计和制作

    激光照排技术光栅光阀设计和制作

    论文摘要激光照排机采用电子计算机编辑排版系统,把书稿输入到计算机内,书稿内容经过计算机而转换成点阵信息。我们提出采用微机电系统(Microelectro-mechanicals...
  • 一体化纳秒激光微加工数控系统设计

    一体化纳秒激光微加工数控系统设计

    论文摘要激光微加工凭借其加工方式灵活,使用方便,成本低,加工质量稳定可靠,污染少等特点,在半导体、微光学、精密机械等学科中得到了广泛的应用。开发具有自主知识产权的高精度激光微加...
  • 基于MEMS技术的硅微神经电极阵列的设计与制造

    基于MEMS技术的硅微神经电极阵列的设计与制造

    论文摘要随着神经生理学和微机电系统技术(microelectronicmechanicalsystem,MEMS)的发展,生物医学用检测仪器的微型化使其研究的范围已达到了细胞和...
  • 飞秒激光制造微型FP光纤传感器机理与技术研究

    飞秒激光制造微型FP光纤传感器机理与技术研究

    论文摘要飞秒激光提供了一种极强的电场能够超过价带电子的束缚力,使分子、原子的电子体系发生巨大变化,其与介质作用产生了许多有别于长脉冲激光的独特性质,如作用区域小、热效应小、空间...
  • 超高压处理对微加工茭白货架期影响的研究

    超高压处理对微加工茭白货架期影响的研究

    论文摘要超高压处理技术被认为是近年来新的食品加工与保藏技术中最有潜力和发展前途的一种冷杀菌技术。利用超高压技术加工食品,能有效地克服传统的热加工法处理食品所带来的种种弊端,在满...
  • 纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究

    纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究

    论文摘要脉冲激光微加工技术作为精密加工、微结构制造领域的先进加工技术之一,具有非接触、污染少、精度高、加工效果好、加工范围广等特点,在MEMS制造、航空航天、医疗仪器等领域得到...
  • 短脉冲及超短脉冲激光硅表面微加工研究

    短脉冲及超短脉冲激光硅表面微加工研究

    论文摘要目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面,短脉冲激光有着脉宽相对较窄,平均功率高,重复频率高,加工效率高,波长短,可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特...
  • 透明介质与生物分子飞秒激光微加工研究

    透明介质与生物分子飞秒激光微加工研究

    论文摘要飞秒激光具有独特的超强与超快特性,其超强特性使得能以较低的脉冲能量获得极高的峰值光强,诱发透明介质对光子能量的多光子吸收,从而实现透明介质内高精度的微加工;其超快特性使...
  • 飞秒激光与铁电晶体相互作用及波导耦合特性

    飞秒激光与铁电晶体相互作用及波导耦合特性

    论文摘要飞秒激光与透明介质的相互作用是近年来研究的热点领域。将飞秒激光聚焦到透明材料的表面,当照射激光能量高于材料损伤阈值时,会造成材料表面的物理损伤。另一方面,通过显微物镜将...
  • 二维电子倍增器及其新技术研究

    二维电子倍增器及其新技术研究

    论文摘要微光夜视技术拓展了人眼的视觉范围,自上个世纪中期以来得到了迅猛的发展。新思想、新概念、新材料、新工艺和新技术的不断涌现,推动着夜视器件与技术的发展。由于光电子技术的需求...
  • 长途干线光线路保护系统研究与应用

    长途干线光线路保护系统研究与应用

    论文摘要光线路保护系统是一种基于现代通信毫秒级光开关为基础的具有重要实践意义的长距离光传输网络保护系统。作为光传输技术的一个新的研究领域,具有十分广阔的应用前景,引起了学术界和...
  • 微加工型光无源器件的设计,制作与分析

    微加工型光无源器件的设计,制作与分析

    论文摘要基于非硅基微加工技术设计研制了两类光无源器件——光开关及可调光衰减器,主要利用有限元软件ANSYS和材料力学对一系列器件进行了状态模拟及理论分析,并分别报告了器件的性能...
  • 应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究

    应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究

    论文题目:应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:曹钟慧导师:吴兴坤关键词:光无源器件,光开关,可调光衰减器,微加工,微机电系统文...