微加工技术论文

碳纳米管植入金属电极表面的方法及其应用技术研究
论文摘要碳纳米管由于其独特的结构和性能而产生广泛的应用,尤其是在作为性能优异的新型场发射冷阴极材料和敏感电极材料方面已引起学术界和产业界的高度重视和广泛研究,其中,碳管场植入金...
重金属电化学传感器及其在海水检测中应用的研究
论文摘要重金属是一种很危险的污染物,往往长期积累在生物体内不可降解,在极其微量的情况下也会产生不良后果。各种生态系统都不同程度地受到重金属的影响。重金属通过食物链沉积到人体中,...
MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究
论文题目:MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究论文类型:硕士论文论文专业:材料物理与化学作者:王涓导师:孙岳明关键词:微机电系统,微加工技术,单晶硅,各向异性,湿法腐蚀文献...