微动精密工件台论文

二维超精工件台及其控制系统的研究
论文摘要精密定位是现代高新科学领域最为关键和共性的基础技术之一,在尖端工业生产和科学研究中占有极其重要的地位,具有广阔的应用前景。为此,本文在设计基于柔性铰链的二维超精微动工件...