微定位系统论文

AFM压电驱动器建模与控制研究
论文摘要在人类探究微观世界的过程中,微定位技术逐步发展起来。原子力显微镜作为一种微显微成像与微纳米操控的设备,其原子级的分辨率使得纳米科技获得了蓬勃发展。目前的商用原子力显微镜...