微波功率传感器论文

RF MEMS 微波功率传感器的设计与分析
论文摘要本论文提出了一种新型RFMEMS微波功率传感器,并对其进行了深入的理论研究与分析设计。组成它的基本元件是：特征阻抗为500的共面波导（CPW,CoplanarWaveg...
间接加热式MEMS微波功率传感器的研究
论文题目:间接加热式MEMS微波功率传感器的研究论文类型:硕士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:范小燕导师:廖小平关键词:微波功率传感器,共面波导,终端电阻,热电堆,砷化...