• SOI高压工艺下器件的特性表征与分析

    SOI高压工艺下器件的特性表征与分析

    论文摘要本课题依据国家科技重大专项“02专项-极大规模集成电路制造技术及成套工艺”的子课题-“SOI工艺平台下器件的表征与分析”的要求完成整个项目,以SOI600VLDNMOS...
  • 基于SILVACO模拟的开关VDMOS设计与制造

    基于SILVACO模拟的开关VDMOS设计与制造

    论文摘要针对国内外对MOS器件及功率器件的需求,以及VDMOS(即纵向双扩散MOS场效应晶体管,Vertical-Double-DiffusedMOSFET的缩写)优良的开关特...