陶瓷衬底论文

论文摘要本工作提出了采用正偏压,即EACVD方法,在α-SiC陶瓷和（100）Si晶片抛光衬底表面上沉积纳米金刚石薄膜。研究了气压、连续正偏压和正偏压增强成核对沉积金刚石薄膜的...

论文题目:太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究论文类型:博士论文论文专业:凝聚态物理作者:张宇翔导师:卢景霄关键词:太阳能电池,多晶硅薄膜,固相晶化,快速热化学气相沉积,区熔再结晶...