• 干法和湿法腐蚀制作脊型半导体激光器的比较研究

    干法和湿法腐蚀制作脊型半导体激光器的比较研究

    论文摘要本文首先对脊型半导体激光器的发展和应用进行了综述,其次对脊型半导体激光器的发光原理、材料、结构进行了理论分析,进而对脊型半导体激光器进行了优化设计。在对光刻原理进行研究...
  • 一种新型硅微加速度计的设计与制造工艺研究

    一种新型硅微加速度计的设计与制造工艺研究

    论文摘要微加速度计是惯性导航系统中最重要的惯性器件之一,其精度水平直接影响和决定导航和制导的精度。在众多种类的加速度计中,电容式加速度计由于具有高灵敏度、较好的噪声特性、低漂移...
  • 等离激元和随机粗化结构在氮化镓表面的制备与应用

    等离激元和随机粗化结构在氮化镓表面的制备与应用

    论文摘要氮化镓基发光二极管(LightEmittingDiode,LED)在最近二十年得到了广泛的关注,在许多领域具有非常诱人的应用前景,例如固态照明,显示器背光源和交通信号灯...
  • 单晶硅反应激波刻蚀试验研究

    单晶硅反应激波刻蚀试验研究

    论文摘要理论和试验研究表明,短脉冲有限幅值超声波在液体中传播时,由于传播的非线性影响,与材料表面相互作用时会产生冲击波或应力波,一般称为激波,又称震波,激波在液体介质中具有瞬时...
  • MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究

    MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究

    论文题目:MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究论文类型:硕士论文论文专业:材料物理与化学作者:王涓导师:孙岳明关键词:微机电系统,微加工技术,单晶硅,各向异性,湿法腐蚀文献...