平面电机论文

动圈式磁浮平面电机电磁结构设计与优化研究
论文摘要磁浮平面电机是一种平面运动机构,动子通过磁场悬浮在定子表面并实现大行程平面运动。由于磁浮方式没有机械接触,相比于依靠直线电机正交组合驱动的传统平面运动机构,具有运动结构...
精密工件台运动参数校准方法研究
论文摘要光刻机是集成电路制造的关键设备,工件台系统是光刻机的核心系统之一,其运动精度直接影响光刻机的分辨率和套刻精度,而工件台的运动精度受到工件台水平向平面电机和直线电机的电机...