平板电极论文

射频激励CO2激光器的流道设计与反射镜变形分析
论文摘要本文旨在研究射频激励扩散冷却CO2激光器平板电极的冷却水流道和反射镜镜面曲率变化的补偿。通过对电极和反射镜进行仿真模拟,分析设计了一种合理有效的电极冷却水流道;采用温度...