纳机电系统论文

论文摘要近年来,因其在不同领域的巨大的应用潜力,纳米尺度的材料和结构已经吸引了越来越多研究者的兴趣。随着微纳米技术的迅速发展,纳米尺度的单元可以精确地制造,并且应用到一种称为纳...

论文摘要由于在低阻Si衬底上制作微波无源器件的损耗极大,且衬底电阻率越低,损耗越大,且所制作的Si器件的工作频率受到了限制,因此几乎无法在低阻硅表面上直接制作微型CPW传输线和...

论文题目:纳机电系统中气体吸附解吸附问题研究论文类型:硕士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:王平导师:黄庆安关键词:纳机电系统,吸附,解吸附,谐振频率,品质因数文献来源:...