面形控制论文

论文摘要微透镜阵列在光束整形、光束准直等方面有着非常重要的作用,制作微透镜阵列的方法也有多种。本文针对柱面微透镜阵列的制作,在研究掩模移动光刻原理及方法的基础上,研究了数字掩模...

本文主要研究内容作者王紫光,康仁科,周平,高尚,董志刚（2019）在《单晶硅反射镜的超精密磨削工艺》一文中研究指出：为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋...