氯硅烷论文

大孔吸附树脂吸附三氯氢硅尾气性能研究
论文摘要三氯氢硅合成工艺的尾气中主要成分为氢气、HCl、氯硅烷,都是非常有用的同时又是非常危险的组分,如果直接排放,不但污染环境,而且浪费资源,采用吸附法回收氯硅烷和HCl是一...
无氧溶胶—凝胶合成阵列微孔SiCN陶瓷
论文摘要碳氮化硅（SiCN）多孔陶瓷具有耐高温、低膨胀率、耐腐蚀、强度高等优异性能,在石油、化工、能源、催化等领域具有广泛的应用前景,近年来倍受关注。溶胶-凝胶方法是制备多孔陶...