螺旋波放电论文

本文主要研究内容作者段朋振,李益文,张百灵,魏小龙,苌磊,赵伟灼（2019）在《氩气压力对螺旋波放电影响的发射光谱诊断及仿真研究》一文中研究指出：螺旋波等离子体源以其高电离效率...