螺杆真空泵论文

螺杆真空泵转子参数化设计及润滑系统开发
论文摘要近年来在半导体工业和液晶显示器制造工艺中,对清洁真空环境的要求越来越高,而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元...
双螺杆真空泵转子型线设计与仿真研究
论文题目:双螺杆真空泵转子型线设计与仿真研究论文类型:硕士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:王琼娥导师:狄瑞坤关键词:螺杆泵,螺杆真空泵,型线,数学模型,啮合文献来源:浙江...