类金刚石膜论文

论文摘要随着电子技术、自动化技术、信息产业、数字网络产业飞速发展,铜在微电子,微电子机械系统（MEMS）,精密仪器散热装置等高新技术上的重要作用日益突显。铜在应用过程中存在强度...

论文摘要类金刚石膜（Diamond-likecarbon）,是一种非晶态的碳材料。由于具有许多同金刚石相近的性质,类金刚石膜技术已经在很多领域得到应用。掺杂的DLC膜作为一种半...

论文摘要类金刚石薄膜（Diamond-likecarbonfilms）发现于20世纪70年代,是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜,它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、...

论文摘要类金刚石膜（DLC）具有许多优异的性能,包括高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数、高疏水性以及生物相容性,使其适合许多领域的应用,因此...

论文摘要本课题采用射频等离子体增强化学气相沉积法和射频磁控溅射两种沉积方法在聚碳酸酯（PC）片上沉积类金刚石碳膜（DLC）。利用X射线衍射（XRD）、激光拉曼光谱（Raman）...

论文摘要本文采用射频PECVD方法,以CH4和Ar为气源在不锈钢、模具钢Cr12钢、树脂材料PMMA等基底上制备出类金刚石（DLC）薄膜。使用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显...

论文摘要在过去的二十年间,类金刚石(DLC)膜引起了工业和研究领域的浓厚兴趣。制备DLC膜的方法主要分为物理气相沉积法和化学气相沉积法。其中等离子体增强化学气相沉积法是近年世界...

论文摘要摩擦、磨损和粘附问题已经成为影响微机电系统（MicroelectromechanicalSystems,MEMS）性能和可靠性的主要因素。微构件材料表面改性被认为是改善...

本文主要研究内容作者曹倩雯（2019）在《金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展》一文中研究指出：金刚石膜以及类金刚石膜在光学元件的保护中有着重要的作用,金刚石膜以及类金刚石膜...