![新型MPCVD装置制备大面积金刚石膜的研究]()
论文摘要金刚石膜高的硬度、热导率、载流子迁移率、化学稳定性等优异的物理化学性能使其成为极具发展前景的新型材料。化学气相沉积(Chemicalvapordeposition,CV...
![热丝CVD大面积金刚石厚膜的制备研究]()
论文摘要人造金刚石膜在生产中有着非常巨大的使用价值，不论在机械、热学、光学或半导体以及声学和现代军事等方面都能发挥其强劲的作用。热丝法CVD大面积金刚石厚膜是在CVD金刚石薄膜...
![钢基镶嵌结构界面金刚石膜及其膜/基结合力的研究]()
论文摘要金刚石具有优异的物理、化学性质，在自然界所有物质中具有最高的硬度，室温下有最高的热导率、低摩擦系数、良好的化学稳定性，这些优异性能使得金刚石膜在机械加工领域有着广阔的应...
![小型化EACVD法金刚石膜沉积设备的控制系统研究]()
论文摘要化学气相沉积法（ChemicalVaporDeposition,简称CVD）金刚石膜由于具有独特的光学、热学和机械性能,在高科技领域具有广阔的应用前景。电子辅助化学气相...
![CVD金刚石膜化学机械抛光液的研制]()
论文摘要金刚石具有优异的机械性能、热力学性能、光学性能、声学性能、半导体性能及化学惰性,作为一种全方位的多功能材料,在诸多领域具有非常广阔的应用前景。尽管CVD金刚石膜的问世缓...
![CVD金刚石膜摩擦化学抛光技术研究]()
论文摘要CVD金刚石膜是由化学气相沉积技术沉积的纯金刚石多晶膜,具有最高的硬度和热传导性,良好的化学稳定性和透光性等优越的光学及物理化学性能,被视为21世纪最有发展前途的新材料...
![金刚石厚膜在机械加工领域的应用]()
论文摘要本论文采用直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的制备工艺,包括气体压力、阴极温度和极间距离同放电电压的关系,以及甲烷流量、放电电流、气体压力和基片温度等条...
![直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜及其微结构研究]()
论文摘要本论文研究了直流热阴极辉光放电特性,建立了稳定的直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石膜的工艺。研究了金刚石膜的生长特性,包括表面形貌、截面特性以及金刚石膜的品质等。完善了...
![掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究]()
论文摘要采用EACVD方法沉积掺硼金刚石膜,研究了掺硼金刚石膜的生长特性、电学性能以及掺硼金刚石膜的电化学性质。本文采用液态B（OCH3）3做为硼源,通过改进掺杂工艺,制备出重...
![直流热阴极辉光放电及高品质金刚石膜的制备]()
论文摘要直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积是我们建立的快速沉积高品质金刚石膜的新方法。为了解其工作特性、优化沉积工艺,本文研究了直流热阴极的工作特性和放电电流对热阴极辉光放...
![自支撑优质金刚石膜制备及红外透射特性研究]()
论文题目:自支撑优质金刚石膜制备及红外透射特性研究论文类型:硕士论文论文专业:光学工程作者:梁继然导师:常明关键词:金刚石膜,拉曼光谱,微波等离子体,光学级金刚石膜文献来源:天...
![多层结构高频声表面波器件的分析与研制]()
论文题目:多层结构高频声表面波器件的分析与研制论文类型:硕士论文论文专业:光学工程作者:马靖导师:陈希明关键词:多层结构声表而波器件模拟,金刚石膜,高频滤波器,传感器文献来源:...
![CVD金刚石膜的光电性能及其在辐射探测器中的应用研究]()
论文题目:CVD金刚石膜的光电性能及其在辐射探测器中的应用研究论文类型:博士论文论文专业:材料学作者:张明龙导师:夏义本关键词:金刚石膜,光电性能,微机多道谱仪,金刚石探测器,...
![曹倩雯：金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展论文]()
本文主要研究内容作者曹倩雯（2019）在《金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展》一文中研究指出：金刚石膜以及类金刚石膜在光学元件的保护中有着重要的作用,金刚石膜以及类金刚石膜...
