宽带监控论文

光学膜厚宽带监控关键技术研究
论文摘要光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关,为了制备出符合要求的光学薄膜产品,在制备过程中必须监控膜厚。对于规整膜系来说,目前采用最多的是监控单一波长的光电极值法,但...