均压槽论文

精密气浮支承的承载特性分析与仿真
论文摘要现代生产对精度的追求极大地推动了测试、光机电一体化和精密加工等技术的发展。精密气浮转台作为大口径非球面回转测量的主要执行机构,其优点是高精度、低摩擦、无污染。平面空气静...
提高静压气体轴承刚度和承载能力的研究
论文摘要气体静压轴承具有运转平滑、精度高、寿命长、无污染、小温升等优点,从而广泛应用于高速、轻载、精密和超精密加工等场合。但是气体轴承的承载能力和刚度较低,限制其推广应用。目前...
一种基于复合节流的气浮直线运动基准设计方法
论文摘要直线度测量是几何量测量领域中最基本、最重要的内容之一。它同时也是平面度、平行度、垂直度、同轴度等几何量测量的基础。气体润滑技术是实现超精密运动基准的主要手段,是超精加工...