金离子注入论文

金离子注入氧化锌薄膜引起的改性研究
论文摘要通过磁控贱射法在玻璃基底上制备了厚度约为300nm的氧化锌薄膜,室温下采用80keVAu离子对该薄膜进行注入,注入剂量为2×1015/cm2。制备态及注入ZnO样品随后...