介电薄膜论文

论文摘要介电薄膜是应用最广泛的一类功能薄膜，在机械、电子、信息、航天等领域起着越来越重要的作用。但由于其导电性能不好，给它们的沉积制备带来了难度。比如采用最为常用的PVD技术之...