硅芯制备论文

  • 王玉亮:新型拉晶炉在硅芯制备中的应用论文

    王玉亮:新型拉晶炉在硅芯制备中的应用论文

    本文主要研究内容作者王玉亮(2019)在《新型拉晶炉在硅芯制备中的应用》一文中研究指出:介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯...