硅片传输机器人论文

光刻机专用硅片传输机器人的设计与分析
论文摘要光刻机是半导体制造的核心装备,硅片传输机器人是其内部专用的自动物料处理设备,它的工作速度、定位精度、可靠性,使用洁净度等直接影响光刻工序中的生产效率和制造质量。国外的半...
硅片传输机器人磁流体密封的研究与设计
论文摘要随着集成电路(IC)集成度的提高,硅片传输机器人的工作环境向着高洁净度、高真空度方向发展,传统的机械密封难以保证IC制造对硅片传输环境的要求,而磁流体密封是一种零泄漏、...