硅废料论文

关于再利用硅切削液的研究
论文摘要近年来,随着光伏产业以及通信产业的发展,大量硅材料的使用,致使多晶硅需求量的飞速增长。虽然生产工艺不断地改进,但是在生产过程中的浪费量依然十分巨大。整个单晶硅的加工工艺...