光刻工艺论文

AIFF MVA液晶盒像素尺寸对其特性的影响
论文摘要液晶在1888年被奥地利植物学家发现以后,已经从一个纯粹的科学研究对象发展成为一个欣欣向荣的产业。液晶电视也由于具有清晰度高、能耗低、寿命长、体积小等特点从奢侈品的行列...
紫外光刻法制备图案化的低维纳米结构陈列
论文摘要本文分别以玻璃片和AAO模板为基底,使用BP-212型紫外正性光刻胶,进行光刻工艺条件的研究,找到了在本实验条件下的稳定光刻工艺。最佳的光刻工艺条件为:匀胶量为0.2m...